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Product Category詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 能源,電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣 |
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TruPlasma Bipolar 4010等離子電源
新一代雙極性脈沖發生器
TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工藝電源專為借助 PVD、PECVD 和反應濺射工藝的等離子體輔助鍍膜技術而開發；在太陽能電池與半導體制造、耐磨裝飾涂層涂覆以及建筑玻璃鍍膜中，其憑借靈活可塑的輸出信號和的電弧管理提供出色結果。
極低電弧能量
全數字化電弧管理確保出色的涂層質量和生產效率。
可調波形
通過輸出信號變化輕松適配不同工藝。
一臺發生器，多種用途
直流電、被動脈沖式直流電和雙極脈沖：得益于多種調整選項可節約成本。
集成的水冷
無需外部部件，因此空間需求極低。
典型應用領域為半導體及光伏生產、建筑玻璃涂層以及質量*的裝飾性耐磨涂層制造。此外可特別用于 PVD （物理氣相沉積）和 PECVD （等離子體增強化學氣相沉積）。
具有極少電弧能量的全數字化電弧管理實現較高的涂層質量和沉積速率。即使在要求嚴苛的反應工藝中，TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列仍始終確保穩定的工藝電源，從而保障穩定的等離子體狀態。
憑借可調波形，TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列電源能夠相當輕松地適配不同工藝要求。得益于輸出信號的靈活選擇（直流電、被動脈沖式直流電或雙極脈沖），可多樣化使用該電源，因此有助于降低總體運行成本 (TCO)。
由于水冷裝置完整集成于不受環境影響的發生器殼體內，因此無需外部部件。
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